光刻机作为国之重器，其研制之路异常艰难。本文介绍了光刻机的工作原理、历史演进、研发难点与挑战以及发展趋势，并强调了光刻技术在国家安全和科技自主可控未来中的关键作用。...

光刻机作为重大技术装备领域的国之重器，其研制之路异常艰难。本文介绍了光刻机的工作原理、历史演变以及研发过程中面临的难点与挑战，同时探讨了光刻技术的发展趋势。...